隨著微電子機械加工係統的日趨成熟而對於壓力、差壓、液ye位wei傳chuan感gan器qi而er言yan，其qi封feng裝zhuang的de傳chuan感gan器qi芯xin片pian本ben質zhi將jiang決jue定ding最zui終zhong產chan品pin的de性xing能neng與yu等deng級ji。以yi目mu前qian市shi場chang上shang廣guang泛fan采cai用yong的de矽gui芯xin片pian技ji術shu而er言yan，矽gui壓ya阻zu技ji術shu加jia工gong工gong藝yi成cheng熟shu
，但dan其qi信xin噪zao比bi特te性xing與yu溫wen度du特te性xing有you待dai提ti高gao
；矽諧振技術加工工藝複雜過壓特性不好
；本公司3351J係列單晶矽壓力變送器芯片采用高純度單晶矽材質，其材質特性優於市場上通用的複合矽
、擴散矽材料，芯片采用單晶矽雙梁懸浮式

，結合了矽壓阻與矽諧振雙方特點
，並從工藝上做出了優化
，實現精度佳
、穩定性好
、低溫度影響
、高過壓等性能，適用於工業過程控製、自動化製造、航天航空
、汽車與船舶、醫療衛生等多個領域。
一、單晶矽壓力變送器性能特點：
1、純度佳單晶矽材質

，有效提高產品壽命及長期穩定性
2、雙惠斯通電橋設計，“雙梁”電阻溫度特性互補
，提高芯片抗幹擾能力
3


、LCD帶背光顯示數字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~100%模擬指示
4、通過按鍵組合操作能實現調零和調滿功能，以及數據恢複功能，方便了現場調試
5、信號轉換、信號采集與處理及電流輸出控製采用了一體化專用集成電路（ASICS）使智能變送器具有穩定、可靠、抗震等特點
，並具有良好的互換性
二
、單晶矽壓力變送器技術參數：
產品型號：SK3351JGP-單晶矽夾板式壓力變送器SK3351JTG-單晶矽直裝式壓力變送器
測量原理：單晶矽懸浮式
適用場合：水壓
、油壓、氣壓、負壓
測量範圍：0~40MPa量程可選
測量精度：±0.25%；±0.1%
；±0.075%
電源：DC10.5~45V
輸出：DC4~20mA+HART
三
、單晶矽壓力變送器產品選型：